以下就是小編對超凈工作臺的凈化原理進(jìn)行介紹。

　　早期半導(dǎo)體工業(yè)把帶過濾天花板夾層以及墻體的方法演化為超凈工作臺法，這個主要是把過濾器裝在單個工作臺上，并使用無脫落的物質(zhì)。 在工作臺以外，晶圓被裝在密封的盒子中儲存、運(yùn)輸。 在大型車間中按順序排列的工作臺組成加工區(qū)，使晶圓依工藝次序經(jīng)過而不從露于空氣中。潔凈工作罩中的過濾器是一種高效顆粒搜集過濾器。這些過濾器是由含許多小孔，并按手風(fēng)琴琴葉折疊的脆性纖維組成，由于高密度的小孔與大面積的過濾層，使得大量的空氣低速流過。由于低速空氣可避免產(chǎn)生空氣流，有利于工作臺的潔凈度，并且對于操作員而言，在舒適的環(huán)境中工作也是必要的。典型的空氣流量6為每分鐘90到100 英寸。HEPA過濾器可達(dá)到99.99%或更高的過濾效率，并可用于三種凈化方法中。

　　一般來說，HEPA高效過濾器裝于潔凈工作臺頂部。空氣由風(fēng)扇吸入先通過前置過濾器，再通過HEPA高效過濾器，并以均勻平行的方式流出，在工作臺表面改變方向，流出工作臺。安裝檔板可控制晶圓表面空氣流動方向，通常這種方式稱為空氣層流立式式工作臺，它是由空氣流的方向命名的。有些工作臺把HEPA過濾器裝于工作臺后部，這種方式被稱為空氣層流平行式工作臺。

　　超凈工作臺按兩種方法來保持清潔：首先是工作臺內(nèi)的空氣凈化;其次，凈化過程在工作臺內(nèi)產(chǎn)生一點(diǎn)空氣正壓，正壓可防止由操作員與走廊產(chǎn)生的污染物進(jìn)入工作臺。 使用化學(xué)溶液的工藝需要對超凈工作臺進(jìn)行特殊設(shè)計(jì)，這種工作臺要接有空氣排風(fēng)，以吸收化學(xué)溶液蒸汽，因?yàn)檎羝麜a(chǎn)生安全及污染的危險(xiǎn)。在這種設(shè)計(jì)下，要平衡其與排風(fēng)中的空氣流，來維持超凈工作臺的潔凈級別數(shù)。