近年來，各類電子廠房興起很快。由于各類電子廠房生產(chǎn)工藝的差異，其潔凈度的要求也不盡相同。在高級別凈化工程中，FFU（Fan Filter Unit）的應(yīng)用越來越多。其主要原因是FFU布置靈活，運行節(jié)能，避免龐大的風(fēng)管系統(tǒng)，節(jié)省了建筑空間及能源，改造容易等特點。但是在中低級別的凈化工程中，房間面積一般較大。在同一房間內(nèi)，不同工序需要的潔凈度也不一樣。由于FFU的價格仍停留在較高的水平上，如果整個房間按照工藝要求的最高級別設(shè)計凈化空調(diào)，在無形中就浪費了能源，增加了投資。故如何考慮多種因素，在滿足潔凈度的要求下，最大限度地降低投資，合理設(shè)計FFU就成了暖通設(shè)計師需要考慮的內(nèi)容。本工程就是其應(yīng)用之一。
一、工程概況
本工程主要生產(chǎn)LCD液晶顯示器等器件。。
該建筑占地1138.2m2，建筑面積2308.8m2，為二層鋼筋混凝土框架結(jié)構(gòu)，一層5.4m，二層7.0m。生產(chǎn)區(qū)地面采用活動地板滿布鑄鋁支撐在下部密梁上，密梁頂標(biāo)高為4.9m，架空活動地板高度0.5m，二層FFU底標(biāo)高2.8m，靜壓箱高2m。
附圖剖面圖：
二、凈化空調(diào)方案的比較選擇
該外延廠房（外延是單晶襯底上生長一層新單晶的技術(shù)，新生單晶層的晶向取決于襯底，由襯底向外延伸而成，故名“外延層”）6英寸生產(chǎn)線工藝對暖通專業(yè)凈化要求較高（工藝設(shè)備區(qū)要求不高，簡稱灰區(qū)，人員正面操作處為凈化工作區(qū)，簡稱工作區(qū)），因此方案的選擇是很重要的。工藝對暖通專業(yè)凈化要求參數(shù)詳見下表：
凈化、空氣調(diào)節(jié)設(shè)計參數(shù)表
房間編號 | 房間名稱 | 面積 | 系統(tǒng)號 | 溫度℃ | 濕度% | 潔凈等級 |
備注 | |
X m | ||||||||
（一） | 外延工作區(qū) | 208 | JK-1 | 23±1 | 45±5 | 0.1 | 100級 | |
（二） | 外延測試清洗 | 150 | JK-1 | 23±1 | 45±10 | 0.1 | 100級 | |
（三） | 石英部件清洗 | 26 | JK-1 | 23±3 | 45±10 | 0.5 | 1000級 | |
（四） | 二次更衣 | 28 | JK-1 | 23±3 | 45±10 | 0.5 | 10000級 | |
（五） | 一次更衣 | 18～26 | 45±10 | 舒適空調(diào) | ||||
（六） | 設(shè)備灰區(qū) | 219 | JK-2 | 19～28 | 45±10 | 0.5 | 10000級 | |
（七） | 下設(shè)備回風(fēng)區(qū) | JK-1 | 自然 | <
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